3
當前位置：匯?？萍技瘓F股份有限公司>>公司動態>>匯專閃耀登場SEMICON China 2023上海國際半導體展，超聲綠色整體解決方案受到高度關注
匯專閃耀登場SEMICON China 2023上海國際半導體展，超聲綠色整體解決方案受到高度關注
時間：2023-7-4
閱讀：622
6月29日-7月1日，SEMICON China 2023上海國際半導體展在上海新國際博覽中心隆重舉行。SEMICON China是全球大規模的半導體產業盛會之一，展會匯聚全球1100多家半導體設備材料廠商，全面展示產業鏈產品、探索行業新機遇。
作為綠色智能高效制造解決方案及關鍵部件提供商，匯?？萍紨y超聲綠色機床及超聲綠色工具系列產品在E5752展位閃耀登場！
實力產品
為加工技術升級提供新引擎
本次展會，匯?？萍颊故玖顺暩咝Ь艿胥娭行募俺暰G色工具系列(包括超聲加工系統、超聲刀柄、整體PCD刀具)多款產品。
超聲綠色機床及超聲綠色工具系列產品由匯專自主研發，融入了超聲技術與綠色技術，成功突破硬脆性材料、難切削金屬材料和復合材料的加工難題。對半導體行業單晶硅、石英玻璃、碳化硅、鋁基碳化硅、氧化鋁、石墨、氮化硅等難加工材料具有顯著的加工優勢。兩大系列實力產品在展會現場受到高度關注，吸引了眾多國內外客戶前來咨詢和洽談。
SEMI相關報告指出，全球半導體設備市場經歷了連續三年增長后，預計今年市場規模將有所下滑，預計在2024年復蘇?；陔娮觿撔聫妱判枨蟮耐苿?，SEMI預測到2030年，全球半導體產業規模將達到1萬億元。產業發展前景長期可觀。當前，我國半導體產業發展仍缺乏核心技術的自主可控。匯專超聲綠色機床及超聲綠色工具在加工難加工材料方面的優勢，將為產業加工技術升級提供新的引擎，助力中國半導體廠商拓展全球市場。
專業方案
致力為客戶創造最大化效益
匯專超聲綠色機床結合自主研發的超聲加工系統、超聲刀柄、整體PCD刀具等核心技術產品形成整體加工解決方案，針對半導體零部件加工可有效延長刀具壽命、提升工件表面質量、提高加工效率。幫助客戶在生產加工過程中提質增效，實現最大化效益，目前已得到半導體行業客戶的廣泛認可。
01 單晶硅噴淋盤鉆孔加工
單晶硅噴淋盤是應用在半導體芯片蝕刻環節的關鍵部件，單晶硅作為脆性材料，加工過程容易產生斷裂。同時該工件孔深徑比高達51:1，加工難度非常大?？蛻粼庸し桨?，無法加工出深徑比51:1的超深微孔，孔壁粗糙度和真圓度均達不到加工要求。使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600，搭配超聲加工系統及整體PCD鉆頭后，成功加工出了合格的單晶硅噴淋盤工件，加工效果也顯著優化。
02 鋁基碳化硅螺紋孔加工
加工鋁基碳化硅半導體部件，使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400搭配超聲加工系統及整體PCD螺紋銑刀，刀具壽命超54個孔，提升300倍以上；效率也顯著提升，加工單孔僅360秒。
為期三天的展會，已圓滿落下帷幕。未來，匯?？萍紝⒗^續聚焦半導體行業零件加工方案創新，與業界共同推動半導體產業的高質量發展。